fireemu asiwaju IC jẹ imọ-ẹrọ iṣelọpọ igbimọ Circuit ti a tẹjade ti o so awọn onirin ati awọn paati itanna nipasẹ awọn itọsọna irin.Imọ-ẹrọ yii jẹ lilo pupọ ni iṣelọpọ awọn iyika iṣọpọ (IC) ati awọn igbimọ Circuit ti a tẹjade ni awọn ẹrọ itanna.Nkan yii yoo ṣafihan ohun elo ati awọn anfani ti awọn fireemu asiwaju IC, ati ṣawari ohun elo ati lilo fọtolithography ni iṣelọpọ fireemu asiwaju IC ati awọn ohun elo ti a lo.
Ni akọkọ, fireemu asiwaju IC jẹ imọ-ẹrọ ti o wulo pupọ ti o le mu iduroṣinṣin pọ si ati igbẹkẹle awọn ẹrọ itanna.Ninu iṣelọpọ IC, awọn fireemu asiwaju jẹ ọna asopọ itanna ti o gbẹkẹle ti o ni idaniloju pe awọn paati itanna lori igbimọ Circuit ti sopọ ni pipe si chirún akọkọ.Ni afikun, awọn fireemu asiwaju IC le ṣe ilọsiwaju igbẹkẹle ti awọn igbimọ iyika nitori wọn le jẹ ki awọn igbimọ Circuit ni agbara ẹrọ ti o ga julọ ati resistance ipata to dara julọ.
Ni ẹẹkeji, fọtolithography jẹ imọ-ẹrọ ti o wọpọ fun iṣelọpọ awọn fireemu asiwaju IC.Imọ-ẹrọ yii da lori ilana fọtolithography, eyiti o ṣe awọn fireemu asiwaju nipasẹ ṣiṣafihan awọn fiimu tinrin irin si ina ati lẹhinna etching wọn pẹlu ojutu kemikali kan.Imọ-ẹrọ Photolithography ni awọn anfani ti konge giga, ṣiṣe giga, ati idiyele kekere, nitorinaa o ti lo pupọ ni iṣelọpọ fireemu asiwaju IC.
Ni iṣelọpọ fireemu asiwaju IC, ohun elo akọkọ ti a lo jẹ fiimu tinrin irin.Fiimu tinrin irin le jẹ bàbà, aluminiomu, tabi wura, ati awọn ohun elo miiran.Awọn fiimu tinrin irin wọnyi ni a maa n pese sile nipasẹ ifasilẹ orule ti ara (PVD) tabi awọn imọ-ẹrọ ikemi vapor (CVD).Ninu iṣelọpọ fireemu asiwaju IC, awọn fiimu tinrin irin wọnyi jẹ ti a bo lori igbimọ Circuit ati lẹhinna ni pipe nipasẹ imọ-ẹrọ fọtolithography lati gbe awọn fireemu adari to dara.
Ni ipari, imọ-ẹrọ fireemu asiwaju IC ṣe ipa pataki ninu awọn ẹrọ itanna igbalode.Nipa lilo imọ-ẹrọ fọtolithography ati awọn ohun elo fiimu tinrin irin, pipe to gaju, ṣiṣe giga, ati awọn fireemu asiwaju iye owo kekere le ṣee ṣe.Anfani ti imọ-ẹrọ yii ni pe o le mu igbẹkẹle ati iduroṣinṣin ti awọn ẹrọ itanna ṣiṣẹ, nitorinaa idasi si idagbasoke imọ-ẹrọ itanna igbalode.
Akoko ifiweranṣẹ: Kínní-28-2023
